Upgrade to Pro
— share decks privately, control downloads, hide ads and more …
Speaker Deck
Features
Speaker Deck
PRO
Sign in
Sign up for free
Search
Search
交流電界・直流磁界下共鳴磁界域付近の電子エネルギー利得機構の解析
Search
nohara naoto
February 08, 2021
Research
0
130
交流電界・直流磁界下共鳴磁界域付近の電子エネルギー利得機構の解析
2020/11/7に行われた令和2年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会にて研究発表を行い、優れた発表をした人に送られる電気学会北海道支部発表賞をいただきました。
nohara naoto
February 08, 2021
Tweet
Share
Other Decks in Research
See All in Research
Language Models Are Implicitly Continuous
eumesy
PRO
0
230
Time to Cash: The Full Stack Breakdown of Modern ATM Attacks
ratatata
0
130
診断前の病歴テキストを対象としたLLMによるエンティティリンキング精度検証
hagino3000
1
130
利用シーンを意識した推薦システム〜SpotifyとAmazonの事例から〜
kuri8ive
1
250
Google Agent Development Kit (ADK) 入門 🚀
mickey_kubo
2
1.8k
数理最適化と機械学習の融合
mickey_kubo
16
9.3k
Generative Models 2025
takahashihiroshi
25
13k
データxデジタルマップで拓く ミラノ発・地域共創最前線
mapconcierge4agu
0
210
大規模な2値整数計画問題に対する 効率的な重み付き局所探索法
mickey_kubo
1
360
AIグラフィックデザインの進化:断片から統合(One Piece)へ / From Fragment to One Piece: A Survey on AI-Driven Graphic Design
shunk031
0
440
2021年度-基盤研究B-研究計画調書
trycycle
PRO
0
300
Agentic AIとMCPを利用したサービス作成入門
mickey_kubo
0
540
Featured
See All Featured
Refactoring Trust on Your Teams (GOTO; Chicago 2020)
rmw
35
3.1k
Typedesign – Prime Four
hannesfritz
42
2.8k
Into the Great Unknown - MozCon
thekraken
40
2k
Building Better People: How to give real-time feedback that sticks.
wjessup
368
19k
Building Applications with DynamoDB
mza
96
6.6k
The Art of Delivering Value - GDevCon NA Keynote
reverentgeek
15
1.7k
Bootstrapping a Software Product
garrettdimon
PRO
307
110k
Rebuilding a faster, lazier Slack
samanthasiow
83
9.2k
Statistics for Hackers
jakevdp
799
220k
Agile that works and the tools we love
rasmusluckow
330
21k
Build your cross-platform service in a week with App Engine
jlugia
231
18k
Context Engineering - Making Every Token Count
addyosmani
3
51
Transcript
交流電界・直流磁界下共鳴磁界域付近の 電⼦エネルギー利得機構の解析 野原 直⼈,菅原 広剛(北海道⼤学) 令和2年度 電気・情報関係学会北海道⽀部連合⼤会 No124
2 X点プラズマ 対向発散磁界を印加 分界⾯による電⼦閉じ込め 電⼦の密度・運動領域 を制御 処理領域・プロセス特性 を制御 分界⾯ RFアンテナ
基板 X点
2 1 0 q rf antenna separatrix Itop Ibtm X-point
40 cm 40 cm 4 cm 4 cm z r B BECR 2BECR 3 電⼦エネルギーの利得(エネルギー増減) 利得が⼤きい場所 アンテナ付近・ 側壁付近・共鳴磁界域 アンテナ付近 RFアンテナ直下強電界 側壁付近 側壁反射による電⼦の指向流 共鳴磁界域付近 電⼦サイクロトロン共鳴
2 1 0 q rf antenna separatrix Itop Ibtm X-point
40 cm 40 cm 4 cm 4 cm z r B BECR 2BECR 4 電⼦エネルギーの利得(エネルギー増減) 利得が⼤きい場所 アンテナ付近・ 側壁付近・共鳴磁界域 𝐵!"# = 𝑚𝜔 𝑒 (= 0.484 mT at 13.56 MHz) 「電⼦旋回周期=交流電界周期」 𝑩 = 1𝐵!"# ⋯ 5𝐵!"# 𝐵!"# ︓共鳴磁界強度 原理は電⼦サイクロトロン共鳴 不均⼀磁界下で⼀時的・部分的 部分共鳴の条件が不明 研究⽬的は条件特定
f r z v B 5 電⼦追跡条件 𝜑 𝑣 𝑬(𝑡)
𝑧 𝑟 初期位置 𝒗 速さ 𝜙 極⾓ 𝜑 対r-z⾯傾斜⾓ 𝑬 t 位相 電⼦の変数を 右図のように設定
f r z v B 6 電⼦追跡条件 𝜑 𝑣 𝑬(𝑡)
𝑧 𝑟 初期位置 𝒗 速さ 𝜙 極⾓ 𝜑 ⽅位⾓ 𝑬 t 位相 電⼦の変数を 右図のように設定 z x y 網羅的解析は困難 条件を絞り 基本的挙動を解析
7 解析条件 R Z 衝突 無衝突 軌道計算 ルンゲクッタ法 ガス Ar
(5 mTorr, 300 K) 電⼦追跡数 64, 100,128 R, Z 20 cm, 40 cm 初期位置rの範囲 0~ 1 cm, 5 cm 初期位置rの分割数 64,100,128 追跡終了条件(RF周期) 壁に到達(500) コイル電流と巻数 36巻, 50 A アンテナ電流周波数 13.56 MHz 初期電⼦エネルギー 1 eV(固定) 時間刻み 1RF周期/24000
8 -2 0 2 4 6 8 0 0.2 0.4
0.6 0.8 1 ⼊射-脱出時エネルギー差 eV 初期位置 cm 5BECR 4BECR 3BECR 2BECR 1BECR -2 0 2 4 6 8 0 1 2 3 4 5 ⼊射-脱出時エネルギー差 eV 初期位置 cm 1 cm以降 エネルギーが 増えない ↓ 観察する領域を 0~1 cmに限定 外側で エネルギー増加 ↓ 内側領域が包含
9 -2 0 2 4 6 8 0 0.2 0.4
0.6 0.8 1 ⼊射-脱出時エネルギー差 eV 初期位置 cm 5BECR 4BECR 3BECR 2BECR 1BECR ・ほぼ0.1~1.0 cm間に誘導 ・蛇⾏は2層までに収まる ・4倍でも増えている -20 -15 -10 -5 0 5 10 15 20 0 5 10 15 20 ⾼さz cm 半径r cm 電⼦軌道 1BECR 2BECR 3BECR 4BECR 磁⼒線 電⼦軌道2 脱出軌道
10 まとめ エネルギー増加領域を調べるために 天井付近で電⼦を放ちエネルギー利得を解析 ↓ 0~1 cmまでの磁⼒線が1𝐵!"# 〜2𝐵!"# の領域を通る それに導かれる電⼦のエネルギーが増加
今後の展望 初期位置・速度を変え共鳴磁界域の近くから放つ ⼀回の出⼊りのエネルギー増減データ取得 →エネルギーが増える条件の特定
11 ⽂献 ⽇本学術振興会科学科研費 JP19K03780による研究 [1] T. Uchida and S. Hamaguchi,
J. Phys. D 41, 083001 (2008). [2] Y. Minami, Y. Asami, and H. Sugawara, IEEE Trans. Plasma Sci. 42, 2550 (2014).